Charakteristika
Firma Linseis vyvinula pro měření tenkých vrstvev nový přístroje založený termoreflektanci ve frekvenční oblasti (Frequency Domain Thermoreflectance, FDTR), který přináší několik zásadních výhod pro měření tenkých vrstev:
- Přímé měření tepelné vodivosti bez nutnosti odhadovat materiálové parametry filmů jako hustota, měrná tepelná kapacita
- Jednodušší obsluha a nastavení přístroje (jedno uspořádaní pro všechny typy filmů)
- Vyšší stabilita a přesnost měření
- Možnost měření multivrstevnatých struktur
Jedná se o bezkontaktní techniku určování tepelných vlastností vzorků s využitím dvou laserů - modulovaného čerpacího laseru (pumping laser) 405 nm a detekčního laseru 532 nm. Lze ji využít pro měření filmů s tloušťkou od desítek nanometrů do desítek mikrometrů. Teplotní rozsah těchto měření je -100 oC až 500 oC. Pro měření je nutné pokrýt vzorek tenkou vrstvou zlata.
Schéma měření
Další Informace najdete na stránkách výrobce.